CIF中試型等離子清洗機CPC-10系列
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CIF推出全新一代 CPC-10系列實驗室型等離子體清洗設(shè)備， 顛覆傳統(tǒng)等離子體清洗設(shè)備設(shè)計理念。具有較大的腔體尺寸和有效樣 品處理面積， 使用成本低， 性價比高， 處理快速高效， 特別適合于大學(xué)， 科研院所和光電企業(yè)實驗室小批量中試生產(chǎn)。
更新時間：2024-03-26 16:17:31
產(chǎn)品特點：
◆ ?7 寸彩色觸摸屏中英文互動操作界面，自動控制監(jiān)測工藝參數(shù)狀態(tài)，20 個配方程序，工藝數(shù)據(jù)可存儲追溯。
◆ ?PLC 工控機控制整個清洗過程，手動、自動兩種工作模式。
◆ ?石英真空艙，真空管路系統(tǒng)采用 316 不銹鋼材質(zhì)，耐腐蝕無污染。
◆ ?采用質(zhì)量流量計，實現(xiàn)對氣體輸入精準控制，改變傳統(tǒng)浮子流量計控制氣體流量不準確問題。
◆ ?HEPA 高效過濾，氣體返填吹掃，防止二次污染。
◆ ?60 度傾角操作界面設(shè)計，符合人體功能學(xué)，操作方便，界面友好。
◆ ?頂置真空艙，上開蓋設(shè)計，下壓式鉸鏈開關(guān)方式，開關(guān)蓋方便。
◆ ?采用花灑式多孔進氣方式，改變傳統(tǒng)等離子清洗機單孔進氣不均勻問題。
◆ ?上置式 360 度自由水平取放樣品托盤設(shè)計，符合人體功能學(xué)，操作更方便。
◆ ?有效清洗面積大，可清洗最大直徑 8 吋硅片。
◆ ?安全保護，艙門打開，自動關(guān)閉電源。
技術(shù)參數(shù)：
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型號 | CPC-10 | CPC-10plus | CPC-10M | CPC-10Mplus |
射頻電源 | 40KHz | 13.56MHz | 40KHz | 13.56MHz |
射頻功率 | 0-600W | 0-300W | 0-600W | 0-300W |
匹配器 | 自動匹配 | 自動匹配 | ||
激發(fā)方式 | 電容式 | 電容式 | ||
氣體控制 | 雙浮子流量計 | 單路 MFC（可選兩路） | ||
艙體尺寸 | L300xΦ215mm | L300xΦ215mm | ||
艙體容積 | 10.8L | 10.8L | ||
艙體材質(zhì) | 不銹鋼 | 不銹鋼 | ||
有效處理尺寸 | L300xW215mm | L300xW215mm | ||
時間設(shè)定 | 9999 秒 | 9999 秒 | ||
| 抽速 8m3/h | 抽速 8m3/h | ||
氣體穩(wěn)定時間 | 1 分鐘 | 1 分鐘 | ||
真空度 | 100pa?以內(nèi) | 100pa?以內(nèi) | ||
電???源 | AC220V 50/60Hz ?766/466W | AC220V 50/60Hz ?752/452W | ||
產(chǎn)品尺寸 | L645xW550xH495mm | L645xW550xH495mm | ||
包裝尺寸 | L750xW700xH720mm | L750xW700xH720mm | ||
整機重量 | 55kg | 55kg | ||
